微量溶出試験

半導体部品、燃料電池のセパレータや配管材料などの評価として、超純水や酸・アルカリなどを使用した溶出試験を行っています。

溶出試験 半導体や電子部品・燃料電池の材料や配管材料から微量イオンが溶出すると、歩留まりの低下、腐食などの製品不具合を起こす可能性があります。

クリタ分析センターでは、超純水分析によって培った微量分析技術を生かし、pptオーダーまで分析することが可能です。

 

 

【クリタ分析センターの強み】

ISO/IEC17025の試験所認定を取得した独自の分析技術でより低濃度まで分析可能。

クラス100のクリーンルームで試験することで、環境由来のコンタミリスクを低減。

特殊洗浄を行った容器を使用し、容器由来のコンタミリスクを低減。
 お客様のご要望に合わせた条件で、試験を実施いたします。

 

 

【試験内容】

超純水や酸・アルカリなどを用いて、ご要望に合わせた条件(溶出時間・温度など)で、試験を行うことが可能です。

○ 超純水を用いた溶出試験

  • 製品から溶出される微量イオン成分・金属成分の分析(ppm~pptオーダー)
  • 製品から溶出される微粒子数の分析

○ 酸・アルカリなどを用いた溶出試験

  • 製品から溶出されるイオン成分・金属成分の分析(ppm~ppbオーダー)
  • 製品から溶出される微粒子数の分析

※試料の形状や大きさによっては溶出専用の容器に封入できない場合がございます。まずはご相談ください。

 

 

 

【具体的な試験事例】

♦半導体業界からのご相談

  • 半導体・半導体部品(ウェハーなど)の洗浄度の評価試験
  • 樹脂中の微量金属の溶出試験
    (フォトレジスト、レジスト液、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂など)

♦電子部品業界からのご相談

  • 自動車搭載用燃料電池部品(セパレータなど)の溶出試験
  • 産業機器用パッキンの溶出試験

♦その他

  • 超純水移送用配管・処理膜の溶出試験
  • 容器(医薬品用・ボトルウォーター用など)の溶出試験
  • 産業用ガス中の不純物評価試験

 

[分析データの参考例]

○ 試験容器のブランク試験

試験条件

溶出条件 : 冷暗所 1週間
試験容器 : PP瓶、PE瓶及びガラス瓶
試験方法 :

①特殊な洗浄を行った専用瓶(PP瓶、PE瓶、ガラス瓶)に超純水で満水にして密封する。

②冷暗所で1週間保管後、溶出液のアニオン、金属イオン、アンモニウムイオン、TOCの溶出量をICP-MS、イオンクロマトグラフ、TOC計(湿式酸化式)にて測定する。

試験結果

容器(PP瓶)から溶出したアニオン濃度(μg/L)

F Br Cl SO42- NO2 NO3 PO43-
<0.5 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <1.0

 

容器(PE瓶)から溶出した金属イオン濃度(μg/L)

Na K Mg Al Ca Cr Mn
<0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.05 <0.05

 

Fe Co Ni Cu Zn Cd Pb
<0.05 <0.1 <0.1 <0.05 <0.1 <0.1 <0.1

 

容器(PP瓶)から溶出したアンモニウムイオン濃度(μg/L)

NH4+
<0.5

 

容器(ガラス瓶)から溶出したTOC濃度(μg/L)

TOC
<20

 

 

【関連サイト】

栗田工業の水処理相談サイト KCRセンター

 

 

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