超純水分析

超純水中のイオン、微粒子、生菌などの分析や、超純水を用いた試験などを、クラス100~1,000のクリーンルーム内で行っています。

超純水分析

超純水とは金属イオンや、有機物、微粒子、微生物などの物質を極限まで除去した純度100%の理論的にH2Oに限りなく近い水のことです。超純水は主に半導体、液晶などの洗浄水として使用されています。

電子機器の高度化により、使用される超純水も高い純度が要求されており、その品質の確認が大変重要となっています。

 

【業務内容のご紹介】

○ 超純水分析

超純水に関連する分析方法や、クリタ独自に開発した超微量分析方法を用いて分析を行っています。

  • 超純水中の微量イオンの分析

      金属元素、アニオン、カチオン

  • 超純水中のシリカ(SiO2)の分析

      シリカ(SiO2)

  • 超純水中の全有機炭素(TOC)の分析

      全有機炭素(TOC)

  • 超純水中のその他の項目

      生菌数、微粒子数、低分子量アルコール、バイオアッセイ など

 

○ 走査電子顕微鏡(SEM)などを用いた微粒子測定

微粒子

走査顕微鏡(SEM)や、微粒子測定機器(ハイアックロイコ)、粒度分布測定装置などを組み合わせ、超純水中や薬剤中の微粒子測定を行っています。

  • 微粒子数測定

    光顕法、電顕法、ハイアックロイコ法

  • 粒度分布測定

    レーザー法、ふるい法

 

 

○ 超純水装置関連の性能試験

超純水の製造の際に用いる樹脂や活性炭などの性能試験を行っています。

  • 樹脂性能評価試験
  • 活性炭評価試験

    よう素吸着性能、平衡吸着量測定、シャーベットカラム通水試験、粒度分布など

  • ろ材評価試験